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规格

 

X

Y

Z

θx

θy

θz

重量

L

WNES6700-L

EKT3-50L

EKS1-10L

EKT3-50L

KS501-60WL

KS501-40UR

KS504-60L

6.7KG

R

WNES6700-R

EKT3-50R

EKS1-10R

EKT3-50R

KS501-90WLR

KS501-40U

KS501-60LR

行程

WNES6700

50mm

10mm

50mm

±6°

±8°

±8°

分辨率

1μm/脉冲()

0.05μm/脉冲(MS1/20)

0.5μm/脉冲()

0.05μm/脉冲(MS1/20)

1μm/脉冲()

0.05μm/脉冲(MS1/20)

0.0025°()

0.00125°()

0.0030°()

0.0015°()

0.0032°()

0.0016°()

 

光轴的高度

206mm

 
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